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The lithography machine leader ASML responded to the rumor that "advanced equipment is not sold to China"
国际电子商情, Oct. 08, 2018 –
早前一段时间,网络盛传因瓦森纳协定限制,光刻机霸主ASML的最先进光刻机台不能卖给中国。在2018年中国集成电路制造年会上,国际电子商情记者采访ASML中国区总裁沈波,他说一直以来外界对ASML都存在一定的误解。
关于光刻机禁售中国这一说法,他表示这是不真实的,中国已经能用到的光刻机从来没有拿不到的情况。现在NXT 1980浸润式机台已经进入中国,2000机型明年也将落地中国。但从晶圆制造工艺来看,并不是拥有光刻机就能解决所有问题,关键在于制造技术的提升。
三星、英特尔、台积电早年投资入股ASML,因此外界认为他们具有设备的优先采购权,恐抑制先进设备对其他晶圆厂的供给?对于这种说法,沈波解释,当时这三家厂商的投资背景是希望ASML加快研发脚步,早期他们进行投资,并做了很多技术准备,因此在新机台推出时能较早地用到设备。实际上,整个光刻机的供应产能每年都在提高,按照订单排期,不存在不卖给中国的问题。
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